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低压等离子设备(等离子清洗机)
低压等离子设备(等离子清洗机)

基本设备:

根据具体组件/选装件,外壳会有所不同

腔室容积:根据具体版本,分为 1.9 - 6 

供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

气源:

针型阀质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室:

圆形不锈钢件,配有盖子
(大约 ∅ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm

矩形不锈钢件,配有铰链的门
(约宽 103 x 深 285 x 高 103)

配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
(大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm

配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
(大约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或者长 600 mm

装载件:

产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极:

单层或多层RIE

控制系统:

半自动型PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量:

 

Pirani

Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器:

数字型

发生器:

频率:40 kHz: 功率 0 - 100 W0-100 W

  13.56 MHz: 功率 0-50 W; 0-300 W

  12.45 GHz:功率0 - 100 W0-300 W 

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 

真空泵:

规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器 Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水、 氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。